LFIX-2000氣體混合儀
氣(qi)體(ti)傳輸：2-8種氣體(ti)(ti) ， Swagelok卡套(tao)連接(jie)
氣體(ti)類型:30種
進(jin)氣壓力：0.1-0.4MPA
控制閥動作型式：常閉式
響應時間(sec)：1S
工作(zuo)壓差：0.05～0.5MPA
最(zui)大耐壓：3MPA
控制(zhi)原理：質量流量控制(zhi)，每(mei)個出口單獨控制(zhi)
流量：50SCCM，100SCCM，500SCCM可定(ding)做
采用(yong)溫度變化(hua)對應于(yu)質量(liang)流(liu)(liu)量(liang)的原理(li)，可以對不同(tong)的氣體進行(xing)流(liu)(liu)量(liang)量(liang)測及控制(zhi)，并(bing)且不會受到溫度及(ji)壓力變化的影響
其他流速可(ke)選擇 ，其他氣(qi)體可(ke)選擇
準確性： 優于1%
數(shu)據(ju)：輸出的數(shu)據(ju)轉換為(wei)標準狀態下的質(zhi)量(liang)（ 1個大氣(qi)壓，0度）
標(biao)準狀(zhuang)態規(gui)定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
控制顯示(shi)方式：電腦(nao)操作
精確控制兩種不同氣體流量大小，使用其按不同比例（量）均勻混合，并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號
