在半(ban)導體行業的(de)晶圓制造(zao)廠生(sheng)產(chan)過程中，半(ban)導體生(sheng)產(chan)需要非常高質量標(biao)準的(de)復雜制造(zao)工藝（例如化學機械(xie)拋光CMP），因此會產(chan)生(sheng)各種(zhong)不同的(de)生(sheng)產(chan)廢(fei)水。
目前(qian)半導(dao)體行業生產(chan)廢水主要(yao)有三(san)(san)大類(lei)，分別是含(han)氟廢水、含(han)銅(tong)廢水以及含(han)氨廢水，三(san)(san)類(lei)廢水因為(wei)水質復(fu)雜、污染物含(han)量高(gao)，對環(huan)境(jing)均具有較為(wei)嚴重的影響，加強半導(dao)體生產(chan)廢水的處理是企業亟需解決的環(huan)保難(nan)題(ti)。
半導體含氟廢水處理
根據含(han)氟(fu)廢(fei)水的(de)特點，以及(ji)氟(fu)離(li)子的(de)理(li)化特性，海(hai)普研發了系列高(gao)性能(neng)除氟(fu)吸附(fu)劑（如圖3所示），除了可(ke)用于常(chang)規含(han)氟廢水(shui)的(de)達標處理，也(ye)可(ke)用于高氟高鹽料液，滿足(zu)客戶生產需求(qiu)
某農化企業生產(chan)(chan)中產(chan)(chan)生一股高氟廢水(shui)，需(xu)要達標處理，經過(guo)我司特種(zhong)吸附(fu)劑處理后，數據如下表(biao)1所(suo)示(shi)
某鋰電回(hui)收企(qi)業，在有價金屬(shu)資源(yuan)回(hui)收中產(chan)生(sheng)兩(liang)股含高氟(fu)高鹽料液，需要(yao)除(chu)氟(fu)處理，要(yao)求不(bu)引入其(qi)他離(li)子(zi)
經過我司高(gao)選擇性除氟吸附(fu)劑處理(li)后，相關數據見表2所示
由表(biao)2可見，海普除氟吸(xi)附劑性(xing)能優異，另外，對(dui)相關吸(xi)附劑進行(xing)了多批次(ci)穩定性(xing)測(ce)試
半導體廢水除銅處理
海(hai)普除(chu)銅樹(shu)脂(zhi)能深度吸(xi)附去除(chu)廢(fei)水中的(de)(de)銅，銅離(li)子的(de)(de)去除(chu)率穩定在90%以(yi)上，配合相關吸(xi)附工藝處理(li)廢(fei)水時，廢(fei)水中的(de)(de)銅離(li)子大(da)部分(fen)被吸(xi)附脫除(chu)，銅離(li)子被轉移至脫附液中，方(fang)便后續的(de)(de)回收副產(chan)品(pin)，滿(man)足客戶排放要(yao)求(qiu)的(de)(de)同時，不產(chan)生(sheng)二次(ci)污染，保障了企業(ye)的(de)(de)正(zheng)常運行(xing)。
海(hai)普除銅樹脂產品及其配套組(zu)合工藝已幫助(zhu)多家(jia)客戶(hu)完成了含銅廢水相關的處理需求
新(xin)建銅酸(suan)水吸附處(chu)理設施，總設計廢水處(chu)理規模為100m3/d，銅酸(suan)水銅離子(zi)含(han)量(liang)高滿足(zu)不(bu)了生產要求，影響企業的穩定生產。
海普選用除(chu)銅樹脂(zhi)并對(dui)該廢水進行了(le)定制化的(de)工藝設(she)計，廢水設(she)計指標如(ru)下表(biao)。
從左到右依次(ci)為原水(shui)、出(chu)水(shui)、脫附(fu)液、水(shui)洗(xi)液
電鍍車間產生(sheng)的(de)廢水中5~10 mg/L銅，不能夠(gou)達(da)標排(pai)放，處理(li)要求：銅＜0.3 mg/L，處(chu)理結果如下。
半導體廢水除氨氮
一企業要求處(chu)理(li)(li)后廢水(shui)中(zhong)氨氮(dan)含量低于20 mg/L，實驗處(chu)理(li)(li)效果表(biao)明采用海普(pu)除氨氮(dan)吸(xi)附劑(ji)進行吸(xi)附處(chu)理(li)(li)，廢水(shui)中(zhong)的氨氮(dan)去除率(lv)穩定在90 %以上，出水(shui)中(zhong)氨氮(dan)含量可以控制(zhi)在10 mg/L以下(xia)。
在保證達(da)到客戶的(de)要求的(de)同時留有(you)一定的(de)安全余量，能(neng)有(you)效防止(zhi)入料廢水(shui)的(de)水(shui)質波動造成出水(shui)不達(da)標。
