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成都雅普三氯氫硅尾氣分離

             來源:成(cheng)都雅(ya)普(pu)環保工程技術有限公司 閱(yue)讀:1808 更新時間(jian):2009-11-03 16:14

三氯氫硅合(he)成(cheng)(cheng)尾(wei)(wei)(wei)氣各(ge)主要(yao)成(cheng)(cheng)分(fen)(fen)的(de)體積分(fen)(fen)數分(fen)(fen)別為,HCl 30%;H2 64.2%;SIHCl3 5.4%;其他(ta)0.2%。合(he)成(cheng)(cheng)爐尾(wei)(wei)(wei)氣均為可(ke)回(hui)收的(de)產品或可(ke)循(xun)環使用(yong)的(de)原(yuan)(yuan)料。對尾(wei)(wei)(wei)氣進行有(you)效的(de)治理,不(bu)僅可(ke)以提高原(yuan)(yuan)料的(de)利(li)用(yong)率,還可(ke)以降低三廢的(de)排放量(liang)。為了(le)合(he)理治理尾(wei)(wei)(wei)氣,必(bi)須根據尾(wei)(wei)(wei)氣的(de)特性、成(cheng)(cheng)分(fen)(fen)、壓力等,選擇適當的(de)工藝流程和技術條件。

三氯(lv)氫(qing)硅尾氣分離裝置

利用以上幾(ji)種(zhong)組(zu)份的沸點(dian)差(cha)異、溶解度差(cha)異和(he)在(zai)吸附劑(ji)上附著能(neng)力(li)的差(cha)異,可(ke)以將以上幾(ji)種(zhong)組(zu)份完全分開(kai)。我公司開(kai)發了以下兩種(zhong)工藝(yi)技術處理三氯氫(qing)硅(gui)尾氣(qi)。

分離方法:

1、  冷凝吸附法

三氯氫(qing)硅尾氣進(jin)(jin)入冷凝分(fen)離(li)(li)系統,增壓(ya)后的(de)合成氣被降溫,氯硅烷(wan)和氯化氫(qing)被分(fen)離(li)(li)出來,然后通過精餾將(jiang)氯化氫(qing)和氫(qing)氣分(fen)離(li)(li),氫(qing)氣進(jin)(jin)入吸附精制系統,得到(dao)高純度的(de)精制氫(qing)氣。

冷(leng)凝分離系統由制冷(leng)壓縮機(ji)組、精餾塔和泵組成,吸(xi)(xi)附精制系統由吸(xi)(xi)附塔、加熱器和冷(leng)卻(que)器組成。

2、  變壓吸附法

變(bian)壓吸(xi)(xi)附(fu)(fu)系統由吸(xi)(xi)附(fu)(fu)塔、換熱器和(he)(he)(he)緩沖(chong)罐(guan)和(he)(he)(he)組成。任(ren)意(yi)時刻(ke)都有吸(xi)(xi)附(fu)(fu)塔處于吸(xi)(xi)附(fu)(fu)狀態,其余處于再(zai)(zai)生(sheng)狀態。通過氫(qing)氣(qi)(qi)、氯化氫(qing)、氯硅(gui)烷在吸(xi)(xi)附(fu)(fu)劑表面上(shang)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)能力的差異,將氫(qing)氣(qi)(qi)、三(san)氯氫(qing)硅(gui)、氯化氫(qing)分離開。吸(xi)(xi)附(fu)(fu)劑通過升溫和(he)(he)(he)降(jiang)壓的方式得到(dao)再(zai)(zai)生(sheng)。再(zai)(zai)生(sheng)結束,吸(xi)(xi)附(fu)(fu)塔又重新具(ju)備(bei)處理三(san)氯氫(qing)硅(gui)尾氣(qi)(qi)并生(sheng)產氫(qing)氣(qi)(qi)的能力。

經過這一(yi)系列過程后(hou)吸(xi)附塔便完成(cheng)了一(yi)個完整(zheng)的“吸(xi)附-再(zai)生(sheng)”循環,又為下一(yi)次吸(xi)附做(zuo)好了準備(bei)。各吸(xi)附塔交(jiao)替進行吸(xi)附、再(zai)生(sheng),即可實現氣體(ti)的連(lian)續分離與提純。


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