TSR不銹鋼硅烷燃燒塔
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人氣：1037 發布時間：2009-12-29 10:10 關鍵詞：廢氣凈化設備 產品型號： 應用領域：大氣控制 產品價格：面議 想了解更多產品詳情，請 |
一、硅烷的性質
硅(gui)烷(wan)也稱矽烷(wan)，是化(hua)學分子式為SiH4的一(yi)種化(hua)合(he)物，該氣(qi)體(ti)無色無臭(chou)，密度1.44克(ke)/升，熔點(dian)-185℃，沸點(dian)-111.8℃，不溶于水。在(zai)室溫下硅(gui)烷(wan)是一(yi)種易燃的氣(qi)體(ti)，在(zai)空氣(qi)中無需加火源，硅(gui)烷(wan)就可以(yi)自燃，生成二氧化(hua)硅(gui)和水，并放出大(da)量的熱量，可被一(yi)般(ban)氧化(hua)劑氧化(hua)。
二、燃燒塔原理
本燃(ran)燒塔(ta)采用(yong)燃(ran)燒洗滌法凈化(hua)硅(gui)烷氣體，它分別有(you)一、二級(ji)燃(ran)燒塔(ta)和(he)三級(ji)燃(ran)燒洗滌塔(ta)組成。
根(gen)據硅(gui)烷(矽烷)在(zai)空氣中(zhong)自燃(ran)(ran)(ran)的特(te)性，特(te)在(zai)燃(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)塔(ta)(ta)中(zhong)設置(zhi)密閉(bi)燃(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)室(shi)，為保(bao)證硅(gui)烷在(zai)燃(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)室(shi)內(nei)充分燃(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)，必須(xu)保(bao)證燃(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)塔(ta)(ta)內(nei)負壓(ya)，控制(zhi)在(zai)-100Pa左右。
三、適用范圍
我(wo)公(gong)(gong)司生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的硅(gui)烷燃燒塔，主(zhu)要用(yong)于單(dan)晶(jing)硅(gui)、多晶(jing)硅(gui)行(xing)業(ye)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)中(zhong)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的硅(gui)烷尾氣(qi)凈化。該設備的成功應用(yong)，主(zhu)要是我(wo)公(gong)(gong)司技術人員對國外(wai)半(ban)導體行(xing)業(ye)凈化硅(gui)烷尾氣(qi)技術方(fang)面的消(xiao)化吸收，來滿足(zu)國內太陽能、光能行(xing)業(ye)，半(ban)導體行(xing)業(ye)及CVD化學(xue)氣(qi)體沉(chen)積工藝中(zhong)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的硅(gui)烷氣(qi)體凈化。
