�L��m

�ȏ�mm

Ĥ��μm

�r  ��

15

0.20

0.25

650

15

0.20

0.5

650

15

0.25

0.25

650

15

0.25

0.5

650

15

0.25

1.0

690

15

0.32

0.25

650

15

0.32

0.5

650

15

0.32

1.0

690

15

0.53

0.5

850

15

0.53

1.0

910

30

0.20

0.25

1150

30

0.20

0.5

1150

30

0.25

0.25

1150

30

0.25

0.5

1150

30

0.25

1.0

1210

30

0.32

0.25

1150

30

0.32

0.5

1150

30

0.32

1.0

1210

30

0.53

0.5

1600

30

0.53

1.0

1700

30

0.53

2.0

1950

30

0.53

3.0

2350

30

0.53

5.0

2750

50

0.20

0.25

1750

50

0.20

0.5

1750

50

0.25

0.25

1750