集成電路的廢氣處理
更新時間：2009-04-20 15:38
來源：
作者: 朱海英 黃其煜
閱讀：1929
摘要：集成電路工業的廢氣有含氟化物和硫酸霧的酸性廢氣、含氨的堿性廢氣、含異丙醇和光刻膠的有機廢氣，含SiO2 的含塵廢氣，以及含硅烷、磷烷的工藝尾氣等，這些工業廢氣中大部分成分是有毒有害的，必須進行有效的處理才能排入大氣中。本文主要討論上述工業廢氣的分類、處理方式、應用范圍及應用實例等。
1 引言
近十年來，集成電路產業在我國得到了迅速的發展，隨著產業規模的持續擴大，隨之而產生的各種污染也不斷引起企業、國家等方面的高度重視。集成電路產生的污染物主要有生產廢水、工藝廢氣、生活污水、動力設備噪聲和固體廢物等。這些污染物必須進行有效治理，才能提供安全的工作環境及保護周邊的環境生態。本文將重點介紹工業廢氣的分類、處理方式、應用范圍及實例等。
聲明：轉載此文是出于傳遞更多信息之目的。若有來源標注錯誤或侵犯了您的合法權益，請作者持權屬證明與本網聯系，我們將及時更正、刪除，謝謝。
使用微信“掃一掃”功能添加“谷騰環保網”
如果需要了解更加詳細的內容，請點擊下載 
DZY09042001.pdf
下載該附件請登錄，如果還不是本網會員，請先注冊
