摘要:集成(cheng)電路工業(ye)的(de)(de)廢(fei)(fei)氣(qi)有(you)含氟化物和(he)硫(liu)酸(suan)(suan)霧的(de)(de)酸(suan)(suan)性廢(fei)(fei)氣(qi)、含氨的(de)(de)堿性廢(fei)(fei)氣(qi)、含異丙醇和(he)光刻膠的(de)(de)有(you)機廢(fei)(fei)氣(qi),含SiO2的(de)(de)含塵廢(fei)(fei)氣(qi),以及(ji)含硅(gui)烷、磷烷的(de)(de)工藝尾氣(qi)等,這些(xie)工業(ye)廢(fei)(fei)氣(qi)中(zhong)大部分成(cheng)分是(shi)有(you)毒有(you)害(hai)的(de)(de),必須進行有(you)效的(de)(de)處(chu)理(li)才能排入大氣(qi)中(zhong)。本文主要討(tao)論上(shang)述工業(ye)廢(fei)(fei)氣(qi)的(de)(de)分類(lei)、處(chu)理(li)方式(shi)、應用范圍及(ji)應用實例(li)等。 

關鍵詞:集(ji)成電路,工業(ye)廢氣處理

1引言

近十年來,集(ji)成電路產(chan)業在我國(guo)(guo)得(de)到了迅速的(de)(de)展,隨著產(chan)業規模的(de)(de)持續擴大,隨之(zhi)而產(chan)生(sheng)的(de)(de)各種染(ran)也不(bu)斷引(yin)起企業、國(guo)(guo)家等(deng)(deng)方面的(de)(de)高度重視。集(ji)成路產(chan)生(sheng)的(de)(de)污染(ran)物主要有(you)生(sheng)產(chan)廢水、工(gong)(gong)藝(yi)廢氣、生(sheng)活水、動力設備噪(zao)聲和固體(ti)廢物等(deng)(deng)。這些污染(ran)物必須行有(you)效治理(li),才(cai)能提供安全的(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)環境及保護(hu)周的(de)(de)環境生(sheng)態。本文(wen)將重點介紹(shao)工(gong)(gong)業廢氣的(de)(de)分類(lei)、處方式、應用(yong)范(fan)圍(wei)及實例等(deng)(deng)。

2集(ji)成電路的工藝廢氣(qi)分類

集成電路的工藝廢氣主要分為6大(da)類:

(1)酸性廢氣:來源于工藝流程中使用各種酸對芯片進行腐蝕、清洗的過程以及擴散等工序,主污染物為氟化物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧等。(2)堿性廢氣:來源于使用氨水、氨氣的刻蝕工,主要污染物為NH3。(3)有機廢氣:來源于清洗、勻膠、去膠、刻蝕、影工序使用有機溶劑清洗的過程,主要成份為異丙醇、光刻膠等有機物。(4)含塵廢氣:來源于CVD工藝排氣,主要污染物為粉塵(SiO2)。(5)工藝尾氣:來源于擴散、離子注入和CVD等工序使用的特殊氣體,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工藝中反應消耗外,其余均以尾氣的形式排放。(6)熱無處理廢氣:來源于擴散等工序中的熱氣排放,直接排入大氣。

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