多(duo)晶(jing)硅(gui)、單晶(jing)硅(gui)生(sheng)產(chan)(chan)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)在(zai)電子半導(dao)體工業生(sheng)產(chan)(chan)過(guo)程產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)。多(duo)晶(jing)硅(gui)生(sheng)產(chan)(chan)和(he)(he)研磨(mo)過(guo)程中產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)量(liang)(liang)較大、傳統(tong)方法處(chu)(chu)理(li)(li)后出水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)的(de)(de)(de)(de)有(you)毒有(you)害(hai)金屬離(li)子、氟等不能穩定達標，對水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)資源(yuan)環(huan)(huan)境造成的(de)(de)(de)(de)污染日益嚴重，同時由于我國水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)資源(yuan)時空分(fen)布極不均(jun)勻，隨著城市用(yong)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)逐漸增大，水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)資源(yuan)短缺越來越嚴重，如處(chu)(chu)理(li)(li)后水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)直接排(pai)(pai)(pai)放，浪費了寶貴的(de)(de)(de)(de)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)資源(yuan).水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)回(hui)用(yong)勢在(zai)必行(xing)，水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)回(hui)用(yong)具有(you)極高(gao)的(de)(de)(de)(de)社會效益和(he)(he)環(huan)(huan)境效益，它一方面可以(yi)減少(shao)環(huan)(huan)境排(pai)(pai)(pai)污量(liang)(liang)，減少(shao)環(huan)(huan)境污染。未回(hui)收利(li)用(yong)的(de)(de)(de)(de)氯(lv)(lv)(lv)硅(gui)烷(wan)(wan)低沸物和(he)(he)氯(lv)(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫、提純分(fen)離(li)塔的(de)(de)(de)(de)不凝氣(qi)(qi)體、還(huan)原爐(lu)開停爐(lu)置換尾氣(qi)(qi)、各系統(tong)檢修時的(de)(de)(de)(de)置換尾氣(qi)(qi)等工藝廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)氣(qi)(qi)經尾氣(qi)(qi)淋洗(xi)塔淋洗(xi)處(chu)(chu)理(li)(li)產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)酸性(xing)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)，其(qi)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)量(liang)(liang)與(yu)工藝廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)排(pai)(pai)(pai)放量(liang)(liang)、氯(lv)(lv)(lv)硅(gui)烷(wan)(wan)和(he)(he)氯(lv)(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫的(de)(de)(de)(de)濃(nong)度有(you)直接關系。為(wei)確保處(chu)(chu)理(li)(li)后的(de)(de)(de)(de)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)氣(qi)(qi)達標排(pai)(pai)(pai)放，工藝廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)排(pai)(pai)(pai)放量(liang)(liang)或(huo)其(qi)中的(de)(de)(de)(de)氯(lv)(lv)(lv)硅(gui)烷(wan)(wan)、氯(lv)(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫濃(nong)度越大，產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)量(liang)(liang)越大。這部分(fen)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)是多(duo)晶(jing)硅(gui)生(sheng)產(chan)(chan)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)的(de)(de)(de)(de)主要(yao)組成部分(fen)，一般占多(duo)晶(jing)硅(gui)生(sheng)產(chan)(chan)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)總量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)90%以(yi)上(shang)，其(qi)主要(yao)污染物為(wei)鹽酸和(he)(he)氯(lv)(lv)(lv)硅(gui)烷(wan)(wan)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)解產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)Si02等，經人工或(huo)機(ji)械(xie)刮撈(lao)后的(de)(de)(de)(de)酸性(xing)廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)沿(yan)地(di)溝或(huo)管(guan)道排(pai)(pai)(pai)入廢(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)站調節池。

多晶硅生產廢(fei)水處理簡介

1、藥劑配制

(1)石(shi)灰(hui)乳(ru)(ru)的(de)配制(zhi)。石(shi)灰(hui)乳(ru)(ru)攪拌(ban)(ban)槽(cao)注入一(yi)(yi)定容積的(de)回(hui)用(yong)(yong)水，緩慢加入ca(OH)2含量大(da)于70%的(de)200目石(shi)灰(hui)粉并(bing)不斷攪拌(ban)(ban)，配制(zhi)成20%的(de)石(shi)灰(hui)乳(ru)(ru)溶液。兩組石(shi)灰(hui)乳(ru)(ru)攪拌(ban)(ban)槽(cao)，一(yi)(yi)套配制(zhi)一(yi)(yi)套使用(yong)(yong)，相互(hu)交替運(yun)行(xing)。

(2)PAC溶(rong)液(ye)(ye)的(de)配制(zhi)。A120，含量>30%、鹽基(ji)度>80%的(de)PAC按比(bi)例緩慢(man)投加到(dao)用(yong)回用(yong)水定容的(de)PAC溶(rong)解配置(zhi)攪(jiao)拌槽中(zhong)，不斷攪(jiao)拌配制(zhi)成5%的(de)PAc溶(rong)液(ye)(ye)，打開放(fang)液(ye)(ye)閥，使(shi)配制(zhi)好的(de)PAc溶(rong)液(ye)(ye)進入溶(rong)液(ye)(ye)槽中(zhong)供處理系(xi)統使(shi)用(yong)，兩組(zu)溶(rong)液(ye)(ye)槽一(yi)組(zu)配制(zhi)一(yi)組(zu)使(shi)用(yong)。

(3)PAM溶(rong)(rong)(rong)液(ye)的(de)(de)配制(zhi)(zhi)(zhi)。向(xiang)(xiang)PAM配制(zhi)(zhi)(zhi)攪(jiao)拌槽(cao)(cao)注入(ru)一(yi)定量(liang)回用水，啟動攪(jiao)拌機，人工緩緩向(xiang)(xiang)槽(cao)(cao)內投加分子量(liang)>l 200萬(wan)的(de)(de)陽離子高(gao)效絮凝劑PAM，充(chong)(chong)分攪(jiao)拌使其溶(rong)(rong)(rong)解配制(zhi)(zhi)(zhi)成5%o的(de)(de)PAM溶(rong)(rong)(rong)液(ye)，打(da)開放液(ye)閥，分別向(xiang)(xiang)兩個溶(rong)(rong)(rong)液(ye)槽(cao)(cao)注入(ru)一(yi)定量(liang)的(de)(de)5%oPAM溶(rong)(rong)(rong)液(ye)，啟動溶(rong)(rong)(rong)液(ye)槽(cao)(cao)攪(jiao)拌機，向(xiang)(xiang)溶(rong)(rong)(rong)液(ye)槽(cao)(cao)內加回用水并充(chong)(chong)分攪(jiao)拌完全溶(rong)(rong)(rong)解配制(zhi)(zhi)(zhi)成0.5‰的(de)(de)藥(yao)液(ye)，兩組PAM溶(rong)(rong)(rong)液(ye)槽(cao)(cao)，一(yi)組使用一(yi)組配制(zhi)(zhi)(zhi)，交替運行(xing)(xing)。在藥(yao)劑的(de)(de)配制(zhi)(zhi)(zhi)和使用過程中，為(wei)避免藥(yao)液(ye)沉淀或結膠(jiao)，要保持攪(jiao)拌機連續運行(xing)(xing)。

2、中和

酸(suan)性廢水由提升泵(beng)輸送至中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)與(yu)石(shi)灰(hui)(hui)乳(ru)發生(sheng)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)反(fan)(fan)(fan)應(ying)，由于反(fan)(fan)(fan)應(ying)需要(yao)一(yi)(yi)定的(de)時間，控(kong)制(zhi)不(bu)好易造成出(chu)水pH不(bu)能滿足(zu)工(gong)藝要(yao)求。為保證(zheng)處理系(xi)統連續穩定運行(xing)，本(ben)工(gong)藝采用(yong)兩(liang)級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)串(chuan)聯進行(xing)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)反(fan)(fan)(fan)應(ying)，即(ji)酸(suan)性廢水自(zi)一(yi)(yi)級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)下(xia)部(bu)進入，通(tong)過(guo)上部(bu)溢(yi)流(liu)沿管(guan)道自(zi)二級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)下(xia)部(bu)進入，廢水在中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)升流(liu)過(guo)程(cheng)中(zhong)與(yu)通(tong)人(ren)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)中(zhong)下(xia)部(bu)的(de)石(shi)灰(hui)(hui)乳(ru)混合，在攪拌作用(yong)下(xia)快速反(fan)(fan)(fan)應(ying)。通(tong)過(guo)調整兩(liang)級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)的(de)石(shi)灰(hui)(hui)乳(ru)投加量，同時控(kong)制(zhi)兩(liang)級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)的(de)攪拌速率，使一(yi)(yi)級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)出(chu)水pH達到(dao)4—5，二級(ji)(ji)中(zhong)和(he)(he)(he)(he)槽(cao)(cao)(cao)出(chu)水pH達到(dao)7—8。

3、混合

混合(he)的(de)實質(zhi)是(shi)(shi)混凝(ning)荊水解(jie)(jie)產物在(zai)(zai)水中(zhong)的(de)擴(kuo)散(san)問題，使(shi)水中(zhong)膠體顆粒同時脫穩產生(sheng)凝(ning)聚，為(wei)取得好(hao)的(de)絮凝(ning)效(xiao)果創(chuang)造(zao)條件(jian)，也(ye)是(shi)(shi)節省投(tou)藥量(liang)的(de)關(guan)鍵。本工藝采用管式(shi)微渦(wo)管道混合(he)器作為(wei)混合(he)設備(bei)，且PAc溶(rong)液(ye)在(zai)(zai)輸送(song)(song)泵前加入，PAM溶(rong)液(ye)在(zai)(zai)輸送(song)(song)泵后加入，利用湍流微渦(wo)旋(xuan)和離心慣性效(xiao)應(ying)，實現了PAC、PAM水解(jie)(jie)產物在(zai)(zai)廢(fei)水中(zhong)的(de)充分擴(kuo)散(san)，使(shi)廢(fei)水中(zhong)形成的(de)膠體顆粒得到(dao)了更好(hao)的(de)脫穩。加藥量(liang)是(shi)(shi)根據絮凝(ning)沉淀系統出水水質(zhi)進行調整的(de)，一(yi)(yi)般控制每(mei)立方米廢(fei)水投(tou)加5%PAC藥液(ye)6一(yi)(yi)10 L，投(tou)加0.5‰

4、絮凝沉淀

本工(gong)藝(yi)采用(yong)(yong)了集成式廢(fei)水(shui)凈(jing)(jing)化器(qi)，將直(zhi)流(liu)混(hun)凝、微(wei)絮(xu)(xu)(xu)凝、重力沉降(jiang)、離心(xin)分(fen)離、動(dong)態過濾、污泥濃(nong)縮等處理技(ji)術(shu)有(you)機地結合集成在(zai)一(yi)套(tao)設(she)備中。充(chong)分(fen)地利用(yong)(yong)混(hun)合液(ye)在(zai)凈(jing)(jing)化器(qi)內慣(guan)性效應和湍流(liu)剪切力，使廢(fei)水(shui)沿切線方向(xiang)高速(su)(su)進(jin)入凈(jing)(jing)化器(qi)后在(zai)凈(jing)(jing)化器(qi)內部(bu)的特(te)殊(shu)結構下(xia)通過壓(ya)縮雙(shuang)電層(ceng)、吸(xi)附(fu)電中和、吸(xi)附(fu)架橋、沉淀和網捕等作用(yong)(yong)，快(kuai)速(su)(su)形成密實(shi)(shi)的礬花和較(jiao)大的絮(xu)(xu)(xu)體(ti)，在(zai)霞(xia)力和離心(xin)力作用(yong)(yong)下(xia)，密實(shi)(shi)的礬花和較(jiao)大的絮(xu)(xu)(xu)體(ti)顆粒(li)滑到錐形污泥濃(nong)縮區濃(nong)縮，廢(fei)水(shui)沿罐壁向(xiang)下(xia)懸流(liu)到一(yi)定程度(du)后向(xiang)中心(xin)靠攏，形成向(xiang)上(shang)(shang)的懸流(liu)繼續上(shang)(shang)升進(jin)入動(dong)態過濾區深(shen)處理，過濾后的合格廢(fei)水(shui)自清水(shui)管道進(jin)入回用(yong)(yong)池回用(yong)(yong)或外排。

5、污泥處理

根(gen)據集(ji)成式(shi)廢水凈化(hua)器監(jian)控取樣情況(kuang)合理(li)安排(pai)排(pai)泥(ni)(ni)周期，將集(ji)成式(shi)廢水凈化(hua)器污泥(ni)(ni)濃縮區的污泥(ni)(ni)排(pai)到污泥(ni)(ni)水箱，開啟污泥(ni)(ni)輸(shu)送泵和(he)板框(kuang)壓濾(lv)(lv)機(ji)(ji)處理(li)污泥(ni)(ni)，噩濾(lv)(lv)水返回(hui)中(zhong)間水箱再處理(li)，當板框(kuang)壓濾(lv)(lv)機(ji)(ji)不再進水時，停止污泥(ni)(ni)輸(shu)送泵或(huo)將污泥(ni)(ni)導入另一臺板框(kuang)壓濾(lv)(lv)機(ji)(ji)，按(an)板框(kuang)壓濾(lv)(lv)機(ji)(ji)操作程(cheng)序自動卸渣，濾(lv)(lv)渣經皮(pi)帶輸(shu)送機(ji)(ji)輸(shu)送到渣場，定期外運處置(zhi)。

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