半導體芯片廠超純水
來源:上海漢華水處理工程有限公司 閱(yue)讀(du):2832 更新(xin)時間:2008-12-01 15:05詳細信息 | |||||
項目名稱 | 半導體芯片廠超純水 | ||||
建設地點 | 建設起始時間 | 建(jian)設結束(shu)時間 | |||
建設性質 | 新建 | 工程投資 | 廢水性質 | ||
處理規模 | 進水水質(zhi) | 出水水質(zhi) | |||
處理工藝 | 運行費(fei)用 | 承包范圍 |
工(gong)程說明
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半導體芯片廠超純水 TOC<10ppb 顆粒(li)度(PARTICLE)達0.5um≤200PCS/L 二(er)氧化硅SiO2<5ppb 電(dian)阻率≥18MΩ.cm(25℃) 采用高純度PVDF管路 |
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工程圖片

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